上海节能技术展关注到欧洲于今年6月启动了一项总投资达6380万美元的重大科研计划"GENESIS"，该计划由法国研究机构CEA-Leti牵头，旨在从根本上改善欧洲半导体产业的环境足迹。这项为期三年的计划集结了来自欧洲半导体领域的58个成员单位，包括大型企业、中小企业、研究机构和高等院校，共同致力于半导体制造过程的绿色技术突破。

实时排放追踪与先进监测技术

GENESIS计划针对芯片制造的五个关键阶段制定了全面的技术发展路线图，涵盖材料开发、化学制程、废弃物监测和处理、气体排放控制以及最终废弃物处理。该计划的核心创新之一是开发实时排放追踪系统，通过先进的制程监控和传感技术，使制造商能够在生产过程中即时发现环境冲击，而非传统的事后检测方式。

这项实时监测技术整合了高精度传感器和数据分析算法，能够对生产过程中的气体排放、化学品消耗和能源使用进行毫秒级监控。通过建立数字孪生模型，系统可以预测潜在的环境风险并提供优化建议，从而实现从被动治理到主动预防的转变。

废弃物资源化与化学品替代创新

减少废弃物是GENESIS计划的另一优先课题。研究团队正在开发先进的回收系统，针对通常被丢弃的溶剂、气体和研磨液进行资源化利用。新型回收技术采用分子级分离和纯化工艺，能够将使用过的化学品恢复到半导体级纯度，实现闭环循环使用。

在材料创新方面，计划致力于开发全氟/多氟烷基物质（PFAS）的替代品，并降低材料的全球变暖潜能值（GWP）。研究团队通过计算材料科学和绿色化学原理，设计新型环保化学品，在保持性能的同时显著降低对环境的影响。这些创新将有效改善半导体制造中一些最具挑战性的工艺环节的环境表现。

关键原材料替代与供应链韧性

GENESIS计划还着力解决欧洲在关键原材料方面的供应链脆弱性问题。通过材料创新和工艺优化，研发团队正在开发减少对稀缺原材料依赖的技术方案。具体措施包括开发新型半导体材料、提高材料利用效率，以及探索基于丰富元素的替代材料体系。

这些技术突破将显著增强欧洲半导体供应链的韧性和可持续性。通过建立多元化的材料供应体系和循环利用模式，计划旨在降低地缘政治风险和市场价格波动对产业的影响。

技术成果与产业影响

据CEA-Leti可持续电子项目主任兼计划负责人Laurent Pain介绍，GENESIS计划预计将推出约45项创新技术成果，涵盖从材料到制造的全产业链环节。这些技术成果将共同提高整个半导体芯片价值链的可持续性表现。

随着芯片在人工智能系统、清洁能源技术等各个领域的广泛应用，半导体制造的环境表现正受到日益严格的审查。上海节能技术展了解到GENESIS计划的技术创新将为全球半导体产业提供可行的绿色发展路径，推动行业向更加环保、高效的方向转型。这项计划的成功实施，不仅将巩固欧洲在半导体技术领域的领先地位，也将为全球电子产业的可持续发展树立新的标杆。

来源：产业永续发展整合资讯网

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